一种用于检测氨气体的传感器及其制备方法 | |
于顺洋 ; 许玉云 ; 李琳娜 | |
专利权人 | 烟台海岸带可持续发展研究所 |
申请日期 | 2009-12-18 |
2010-09-29 | |
专利状态 | 未公开 |
授权国家 | 中国 |
摘要 | 本发明涉及一种气体传感器,特别是一种用于检测氨气的有机薄膜晶体管气体传感器。栅绝缘层上设表面修饰层和功能层;源电极和漏电极分别连接于功能层,功能层以p型有机半导体材料聚(3-烷基)噻吩为原料。本发明是结合当前半导体工业的主流技术,在硅衬底上利用有机半导体材料代替无机半导体材料作为器件的功能层,制备了底栅顶接触结构的有机薄膜晶体管气体传感器,简化了器件的制作工艺,大大减少了器件的制作周期。另外,器件易于集成化、微型化。 |
学科领域 | 仪器仪表 |
申请号 | 200910255705.7 |
语种 | 中文 |
PCT属性 | 否 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.yic.ac.cn/handle/133337/1132 |
专题 | 中国科学院海岸带环境过程与生态修复重点实验室_环境化学实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 于顺洋,许玉云,李琳娜. 一种用于检测氨气体的传感器及其制备方法[P]. 2010-09-29. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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