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Design, Simulation and Fabrication of Triaxial MEMS High Shock Accelerometer 期刊论文
JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2015, 卷号: 15, 期号: 4, 页码: 2952-2957
作者:  Zhang, Zhenhai;  Shi, Zhiguo;  Yang, Zhan;  Xie, Zhihong;  Zhang, Donghong;  Cai, De;  Li, Kejie;  Shen, Yajing;  Shen, YJ (reprint author), City Univ Hong Kong, Dept Mech & Biomed Engn, Hong Kong, Hong Kong, Peoples R China.
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Mems Accelerometer  Three-axis  High g  Piezoresistive  Sense Element