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专利名称:
一种用于检测氨气体的传感器及其制备方法
专利类型: 发明
发明人: 于顺洋 ; 许玉云 ; 李琳娜
权利人: 烟台海岸带可持续发展研究所
专利(申请)号: 200910255705.7
申请日期: 2010-09-29
公开日期: 2010-09-29
专利状态: 未公开
国省代码: 中国
分类号: 仪器仪表
中文摘要: 本发明涉及一种气体传感器,特别是一种用于检测氨气的有机薄膜晶体管气体传感器。栅绝缘层上设表面修饰层和功能层;源电极和漏电极分别连接于功能层,功能层以p型有机半导体材料聚(3-烷基)噻吩为原料。本发明是结合当前半导体工业的主流技术,在硅衬底上利用有机半导体材料代替无机半导体材料作为器件的功能层,制备了底栅顶接触结构的有机薄膜晶体管气体传感器,简化了器件的制作工艺,大大减少了器件的制作周期。另外,器件易于集成化、微型化。
是否PCT专利:
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://ir.yic.ac.cn/handle/133337/1133
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于顺洋,许玉云,李琳娜. 一种用于检测氨气体的传感器及其制备方法. 2010.
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